現(xiàn)在人們對(duì)于各方面的要求很多,尤其是在節(jié)能環(huán)保方面。多晶硅、單晶硅清洗用水就是針對(duì)于光伏產(chǎn)業(yè),比如人們最為熟悉的太陽能系列產(chǎn)品,以下介紹幾種解決方案的工藝流程。
多晶硅、單晶硅清洗用水工藝流程
1、采用離子交換樹脂制備電子工業(yè)超純水的傳統(tǒng)水處理方式,其基本工藝流程為:原水→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→陽床→陰床→混床(復(fù)床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點(diǎn)。
2、采用反滲透水處理與離子交換進(jìn)行組合制備電子工業(yè)超純水的方式,其基本工藝流程為:原水→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透→混床(復(fù)床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點(diǎn)。
3、采用反滲透與電去離子(EDI)進(jìn)行搭配制備電子工業(yè)超純水的的方式,這是一種制取超純水的最新工藝,也是一種環(huán)保,經(jīng)濟(jì),發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に?,其基本工藝流程為:原?span style="margin: 0px; padding: 0px; max-width: 100%; box-sizing: border-box !important; word-wrap: break-word !important;">→原水箱→原水泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透→電去離子(EDI)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點(diǎn)。
多晶硅、單晶硅清洗用水工藝比較
目前制備電子工業(yè)用超純水的工藝基本上是以上三種,其余的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基礎(chǔ)上進(jìn)行不同組合搭配衍生而來?,F(xiàn)將他們的優(yōu)缺點(diǎn)分別列于下面:
1、第一種采用離子交換樹脂其優(yōu)點(diǎn)在于初投資少,占用的地方少,但缺點(diǎn)就是需要經(jīng)常進(jìn)行離子再生,耗費(fèi)大量酸堿,而且對(duì)環(huán)境有一定的破壞。
2、第二種采用反滲透作為預(yù)處理再配上離子交換,其特點(diǎn)為初投次比采用離子交換樹脂方式要高,但離子再生周期相對(duì)要長(zhǎng),耗費(fèi)的酸堿比單純采用離子樹脂的方式要少很多。但對(duì)環(huán)境還是有一定的破壞性。
3、第三種采用反滲透作預(yù)處理再配上電去離子(EDI)裝置,這是目前制取超純水最經(jīng)濟(jì),最環(huán)保用來制取超純水的工藝,不需要用酸堿進(jìn)行再生便可連續(xù)制取超純水,對(duì)環(huán)境沒什么破壞性。其缺點(diǎn)在于初投資相對(duì)以上兩種方式稍貴一點(diǎn)。
多晶硅、單晶硅清洗用水解決方案技術(shù)特點(diǎn)
1、超純水專用膜
采用膜表面高分子嫁接技術(shù),產(chǎn)水TOC在20PPB以下,更適用電子級(jí)超純水系統(tǒng)。
高TOC脫除率、高抗污染能力、低TOC溶出率,TOC達(dá)標(biāo)沖洗時(shí)間短、先進(jìn)配套電源技術(shù),能耗更低。
2、電去離子技術(shù)
離子交換樹脂再生不需要使用昂貴且有危害的化學(xué)品,降低了能源和運(yùn)行費(fèi)用、設(shè)施的大小要求。
采用新型均勻樹脂包填充,有效提高脫鹽率。
多晶硅_單晶硅清洗用水解決方案執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)
出水水質(zhì)符合:
1、ASTM-D5127-2007《美國(guó)電子學(xué)和半導(dǎo)體工業(yè)用超純水標(biāo)準(zhǔn)》
2、歐盟電子級(jí)超純水標(biāo)準(zhǔn)
3、中國(guó)電子工業(yè)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)